Procédé et dispositif pour visualiser des propriétés de surface d'objets microscopiques

Method and device for visualizing surface characteristics of microscopic objects

Verfahren und Anordnung zur räumlichen Visualisierung oberflächendeterminierter Eigenschaften von Mikroobjekten

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur räumlichen Visualisierung oberflächendeterminierter Eigenschaften von Mikroobjekten, sowie eine Anordnung zur Durchführung eines entsprechenden Verfahrens. Aufgabe ist, oberflächendeterminierte Eigenschaften von Mikroobjekten mit hohem Auflösungsvermögen und hoher Tiefenschärfe unter Echtzeitbedingungen räumlich unter einem großen Betrachtungswinkelbereich darzustellen. Erfindungsgemäß erfolgt die Erzeugung von Teilbildern des Mikroobjektes durch rastermikroskopische, vorzugsweise rasterelektronenmikroskopische Abbildung bei variierter elektronenoptischer Kippung des Sonden-Einfallswinkels, und das Mikroobjekt wird räumlich dargestellt auf einem Monitor mit vorgeordneter, mit einer Lichtsteuerungseinrichtung versehenen undurchsichtigen Scheibe, durch welche in Abhängigkeit von sequentiell über der Scheibenfläche verlaufenden lokalen Lichtdurchlässigkeit(en) diesen jeweiligen Positionen zugeordnete, auf dem Monitor wiedergegebene Teilbilder betrachtbar sind, wobei der positionsbezogene Sonden-Einfallswinkel bei der Teilbilderzeugung dem jeweiligen Betrachtungswinkel des auf dem Monitor dargestellten Teilbildes entspricht und der Betrachtungswinkel durch die jeweilige Position der lokalen Lichtdurchlässigkeit der Scheibe in Bezug auf das zugeordnete Teilbild bestimmt ist. Anwendungsgebiete sind insbesondere die Bereiche der Mikrotechnologien und der Mikrosystemtechnik.
The spatial visualization method uses a raster scanning microscope (1) for providing 2-dimensional partial images of the micro object which are represented on a monitor screen, with variation of the position of the electron beam (2) directed onto the micro object between successive partial images and corresponding adjustment of a liquid crystal light control disc (15) in front of the screen, so that each partial image can only be viewed from the corresponding observation angle. An independent claim for a device for visualization of the surface characteristics of a micro object is also included.

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Patent Citations (1)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    EP-0584752-A2March 02, 1994ICE OELSNITZ GmbHProcédé et dispositif pour la représentation d'images stéréoscopiques

NO-Patent Citations (2)

    Title
    KATO Y ET AL: "Stereoscopic observation and three dimensional measurement for scanning electron microscopy" PROCEEDINGS OF THE 10TH ANNUAL SCANNING ELECTRON MICROSCOPY SYMPOSIUM, CHICAGO, IL, USA, 28 MARCH-1 APRIL 1977, Seiten 41-48, XP000952056 1977, Chicago, IL, USA, IIT Res. Inst, USA ISBN: 0-915802-11-2
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Cited By (1)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    US-9369568-B2June 14, 2016Lg Electronics Inc.Mobile communication terminal including rotary key and method of controlling operation thereof